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基本情報
| 氏名 |
豊田光紀 |
| 氏名（カナ） |
トヨダ ミツノリ |
| 氏名（英語） |
TOYODA Mitsunori |
教育研究業績書情報（授業科目を担当する専任教員）：職務上の実績に関する事項
教育研究業績書情報：担当授業科目に関する研究業績等
- 2022 極紫外多層膜ミラー光学系による回折限界結像とポリマーブレンドの無染色観察への展開 2022/11 日本放射光学会誌 35(6) 327 学術論文
- 2021 軸外物点を考慮した極紫外多層膜対物ミラーの光学設計 相澤 駿介, 脇 俊太郎, 豊田 光紀 3032/06 東京工芸大学工学部紀要 44-1 01 学内紀要
- 2021 Development of a high-power EUV irradiation tool in a hydrogen atmosphere Tetsuo Harada, Shinji Yamakawa, Mitsunori Toyoda, Takeo Watanabe. 2021/07 Jpn. J. Appl. Phys. in press 学術論文
- 2021 Removal of Mo/Si multilayer coatings on fused silica substrates by wet chemical etching Mitsunori Toyoda, Ryo Yokoyama, Shuntaro Waki, Toshiyuki Kakudate and Jun Chen 2021/04 Appl. Phys. Express 4 052003 学術論文
- 2020 実験室EUV顕微鏡用の高倍率多層膜ミラー対物光学系の開発 脇俊太郎,陳軍,豊田光紀 2021/03/19 第68回応用物理学会春季学術講演会 学会発表要旨
- 2020 ２面斜入射対物ミラー設計解の大域的探索（５） 山下正汰,陳軍,豊田光紀 2021/03/18 第68回応用物理学会春季学術講演会 学会発表要旨
- 2020 実験室EUV顕微鏡の開発と高分子の無染色可視化への応用 豊田光紀,桃野幸文,角館俊行,陳軍 2021/03/18 第68回応用物理学会春季学術講演会 学会発表要旨
- 2020 Staining-free observation of polymer blend thin-films on transmission extreme ultraviolet microscopy Mitsunori Toyoda, Shunsuke Aizawa, Shiori Gondai, Toshiyuki Kakudate, Masaki Ageishi, Hiroshi Jinnai and Jun Chen 2020/08 Appl. Phys. Express 13 082011 学術論文
- 2019 2面斜入射対物ミラー設計解の大域的探索（４）（口頭講演） 山下正汰,陳軍,豊田光紀 2020/03 第67回 応用物理学会 春季学術講演会（上智大学 四谷キャンパス） 学会発表要旨
- 2019 軸外物体を考慮したＥＵＶ多層膜ミラーの光学設計（口頭講演） 相澤駿介,豊田光紀 2020/03 第67回 応用物理学会 春季学術講演会（上智大学 四谷キャンパス） 学会発表要旨
- 2019 実験室EUV顕微鏡の開発と高分子の無染色可視化への応用（口頭講演） 豊田光紀, 桃野幸文,角館俊行,陳軍 2020/03 第67回 応用物理学会 春季学術講演会（上智大学 四谷キャンパス） 学会発表要旨
- 2019 2面斜入射対物ミラー設計解の大域的探索（３） 山下正汰、陳軍、豊田光紀 2019/09 第80回 応用物理学会 秋季学術講演会（北海道大学 札幌キャンパス） 学会発表要旨
- 2019 EUV顕微鏡照明光学系用凹面Mo/Ｓi多層膜ミラーの光学設計 相澤駿介、脇俊太郎、角館俊行、豊田光紀 2019/09 第80回 応用物理学会 秋季学術講演会（北海道大学 札幌キャンパス） 学会発表要旨
- 2019 EUV顕微鏡付加拡大系用の凹面Mo/Si多層膜ミラーの作製（口頭講演） 相澤駿介,角館俊行,豊田光紀 2019/09 第80回 応用物理学会 秋季学術講演会（北海道大学 札幌キャンパス） 学会発表要旨
- 2019 Global optimization of two-multilayer mirror objective for focusing soft X-ray high harmonics M. Toyoda, S. Yamashita, J. Chen 2019/04 Proc. SPIE, EUV and X-ray Optics: Synergy between Laboratory and Space VI 11032 110320P 学術論文
- 2018 Multilayer Mirrors for Focusing Objective in 40-nm Wavelength Region M. Toyoda, Y. Tamaru, S. Mori, K. Sawada, Y. Fu, E. J. Takahashi, A. Suda, F. Kannari, K. Midorikawa, M. Yanagihara Springer Proceedings in Physics 202 287-290 学術論文
- 2018 2面斜入射対物ミラー設計解の大域的探索(2) 2019/03/10 応用物理学会春季学術講演会 10p-M112-5 学会発表要旨
- 2018 Chromatic Aberration Control on Microscope Imaging System with EUV Multilayer Mirrors 2018/11/08 PXRNMS2018 International Workshop 学会発表要旨
- 2018 Observation of Polymer Blend Films on Transmission EUV Microscopy 2018/11/07 PXRNMS2018 International Workshop 国際会議プロシーディング
- 2018 RGB３色レーザを用いる共 通光路位相シフト干渉顕微鏡の研究(2) 有賀 彩，細野 剛司，豊田 光紀，陳 軍，遠藤 潤二 2018/11/01 Optics & Photonics Japan 2018 1aP8 学会発表要旨
- 2018 2面斜入射対物ミラー設計解の大域的探索 山下正汰, CHEN J., 豊田光紀 2018/09 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th ROMBUNNO 21a‐235‐4 学会発表要旨
- 2018 ポリマーブレンドのEUV顕微観察に適した試料準備条件 相澤駿介, 角館俊行, 権代詩織, 豊田光紀 2018/09 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th ROMBUNNO 21a‐235‐5 学会発表要旨
- 2017 EUV結像系用の曲面多層膜ミラーで生じる色収差とその補正法 金子明誉, 豊田光紀, 高田昌樹 2018/03 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 65th ROMBUNNO. 20p‐B301‐1 学会発表要旨
- 2017 回折限界EUV結像を実現するアクロマティックEUV多層膜ミラーの開発 金子明誉, 豊田光紀, 高田昌樹 2018/03 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 65th ROMBUNNO. 20p‐B301‐2 学会発表要旨
- 2017 レーザープラズマ光源を用いた実用極端紫外線顕微鏡の開発 2018/01 島津科学技術振興財団研究成果報告書2016 25‐28 学会発表要旨
- 2017 Imaging Properties of an Extreme Ultraviolet Microscope Objective with Reduced Fresnel Number M. Toyoda, K. Kuramitsu, M. Yanagihara 2017/09 Opt. Commun. 405 (2017) 312-317. 学術論文
- 2017 Low-Order Aberrations Correction of Extreme Ultraviolet Imaging Objective with Deformable Multilayer Mirrors M. Toyoda, R. Sunayama, M. Yanagihara 2017/06 Proceedings of the 9th Mechanical Engineering Design of Synchrotron Radiation Equipment and Instrumentation 学会発表要旨
- 2017 Point Diffraction Interferometer for Inspection of High-Magnification Objective for Extreme Ultraviolet Microscopy M. Toyoda, R. Sunayama, M. Yanagihara. 2017/06 The 61st International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (Orlando, USA) 学会発表要旨
- 2017 光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法 2017/06 6160666 特許登録
- 2016 30nm分解能を実現する実験室EUV顕微鏡の開発 2017/02 日本顕微鏡学会 マルチディメンジョナルトモグラフィ研究部会研究会(仙台) 学会発表要旨
- 2016 マグネトロンスパッタに適用できる多層膜ミラーの周期長分布制御機構の開発（2） 金子明誉, 豊田光紀, 高田 昌樹 2016/12 第71回応用物理学会東北支部学術講演会(仙台) 応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集(Web) 71st ROMBUNNO.2aB09 学会発表要旨
- 2016 Design, fabrication, and test of extreme ultraviolet microscope with 30-nm spatial resolution 2016/11 Physics of X-Ray and Neutron Multilayer Structures Workshop 2016 (Enschede, Netherlands) 学会発表要旨
- 2016 Low-order aberration correction of extreme ultraviolet imaging objective with deformable multilayer mirrors M. Toyoda, R. Sunayama, M. Yanagihara. 2016/09 9th edition of the MEDSI conference (Barcelona, Spain) 学会発表要旨
- 2016 マグネトロンスパッタに適用できる多層膜ミラーの周期長分布制御機構の開発 金子明誉, 豊田光紀, 高田 昌樹 2016/09 第77回応用物理学会秋季学術講演会(新潟) 学会発表要旨
- 2016 光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法 2016/08 5983689 特許登録
- 2016 極紫外(EUV)顕微鏡によるタフポリマーの高速可視化法の開発 豊田光紀, 樋口剛志, 陣内浩司 2016/07 ImPACT伊藤プログラム第３回班会議(小樽) 学会発表要旨
- 2016 光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法 2016/07 5967132 特許登録
- 2016 Multilayer Mirror Objective for Focusing Isolated Attosecond Pulse in 40 nm Wavelength Region M. Toyoda, Y. Tamaru, S. Mori, K. Sawada, Y. Fu, E. J. Takahashi, A. Suda, F. Kannari, K. Midorikawa, M. Yanagihara 2016/05 The 15th International Conference on X-Ray Lasers (Nara, Japan) 学会発表要旨
- 2015 EUV用多層膜ミラー光学系で生じる色収差の定量的計算法の開発 松本竜弦, 豊田光紀, 高田正樹 東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集 15th 84 学会発表要旨
- 2015 単一アト秒パルス用回折限界集光システムの開発 3 田丸裕基, 森哲, 澤田和寛, 澤田和寛, YUXI Fu, 高橋栄治, 須田亮, 神成文彦, 緑川克美, 豊田光紀 2016/03 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 63rd ROMBUNNO.20P-P3-2 学会発表要旨
- 2015 極紫外放射光ナノ顕微鏡の開発による次世代デバイス構造の可視化 2016/01 日本学術振興会産学協力研究アモルファス・ナノ材料第147委員会 第131回研究会(東京) 学会発表要旨
- 2015 点回折干渉計による高倍率EUV顕微対物ミラーの１nm精度波面制御 豊田光紀, 砂山諒, 柳原美広 2015/11 The 13th Symposium on X-Ray Imaging Optics (名古屋) 学会発表要旨
- 2015 広視野を30nm解像するEUV顕微鏡の開発 2015/09 放射光学会第8回若手研究会"軟X線イメージングの描く未来"(岡崎) 学会発表要旨
- 2015 IrレプリカX線反射鏡製作とNiトップレイヤーの性能評価 吉川駿, 田村啓輔, 松本浩典, 田原譲, 山下広順, 宮澤拓也, 三石郁之, 佐治重孝, 小林洋明, 松本竜弦, 豊田光紀, 柳原美広 2015/08 日本天文学会年会講演予稿集 2015 学会発表要旨
- 2015 単一アト秒パルス用回折限界集光システムの開発 2 田丸裕基, 森哲, 澤田和寛, 澤田和寛, FU Yuxi, 高橋栄治, 須田亮, 神成文彦, 緑川克美, 豊田光紀 2015/08 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 76th ROMBUNNO.13P-2G-4 学会発表要旨
- 2015 露光装置、計測方法、露光方法、及びデバイス製造方法 西永壽、引間郁雄、豊田光紀、水野恭志、北尚憲、谷津修 2015/08 5790572 特許登録
- 2015 Flat-Field Anastigmatic Mirror Objective for High-Magnification Extreme Ultraviolet Microscopy 2015/06 Adv. Opt. Techn. 4 (2015) 339–346 学術論文
- 2015 高倍率EUV顕微対物ミラーの1nm精度波面制御 豊田光紀, 砂山諒, 柳原美広 2015/06 光学シンポジウム講演予稿集 40th 35-36 学会発表要旨
- 2015 光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法 2015/04 5731591 特許登録
- 2015 露光装置、計測方法、露光方法、及びデバイス製造方法 西永壽、引間郁雄、豊田光紀、水野恭志、北尚憲、谷津修 2015/04 5725137 特許登録
- 2014 照明光学装置、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法 2015/02 5696746 特許登録
- 2014 単一アト秒パルス用回折限界集光システムの開発 澤田和寛, 澤田和寛, 森哲, 田丸裕基, 田丸裕基, 豊田光紀, 高橋栄治, 神成文彦, 須田亮, 緑川克美, 柳原美廣 2015/02 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 62nd ROMBUNNO.14P-A15-2 学会発表要旨
- 2014 点回折干渉計によるEUV対物ミラーのサブnm精度波面測定 砂山諒, 豊田光紀, 柳原美廣 2015/02 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 62nd ROMBUNNO.11P-A26-9 学会発表要旨
- 2014 EUV結像系用点回折干渉計の波面測定精度の検証 砂山諒, 豊田光紀, 近藤祐治, 山川清志, 柳原美廣 2014/12 応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集 69th (CD-ROM) ROMBUNNO.5aA01 学会発表要旨
- 2014 多層膜ミラーによるEUV回折限界結像系の開発の現状と展開 2014/12 レーザー学会研究会報告 469th 37-38 学会発表要旨
- 2014 Demonstrating 30-nm Spatial Resolution of Three-Multilayer-Mirror Objective for Extreme Ultraviolet Microscopy: Imaging Test by Observing Lithography Mask M. Toyoda, K. Yamasoe, A. Tokimasa, K. Uchida, T. Harada, T. Terasawa, T. Amano, T. Watanabe, M. Yanagihara, H. Kinoshita 2014/09 Appl. Phys. Express 7 (2014) 102502 学術論文
- 2014 小型フォトニック結晶波長板による点回折干渉計の高精度化 砂山諒, 豊田光紀, 近藤祐治, 山川清志, 柳原美廣 2014/09 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 75th ROMBUNNO 18P-S8-10 学会発表要旨
- 2014 Observation of Phase Defect on Extreme Ultraviolet Mask Using an Extreme Ultraviolet Microscope T. Amano, T. Terasawa, H. Watanabe, M. Toyoda, T. Harada, T. Watanabe, H. Kinoshita) 2014/06 J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS 13 (2014) 023012 学術論文
- 2013 反射型投影光学装置 2014/03 5489034 特許登録
- 2013 Observation of Phase Defect on Extreme Ultraviolet Mask Using an Extreme Ultraviolet Microscope T. Amano, T. Terasawa, H. Watanabe, M. Toyoda, T. Harada, T. Watanabe, H. Kinosihta 2014/02 Proc. SPIE 9048 (2014) 904827 学会発表要旨
- 2013 Design, fabrication, and test of a novel wide field microscope objective for extreme ultraviolet multiscale imaging. 2013/11 The 12th Symposium on X-ray Imaging Optics (Osaka, Japan) 学会発表要旨
- 2013 投影光学装置 豊田光紀、山本正樹 2013/10 5388227 特許登録
- 2013 Extreme Ultraviolet Mask Defect Observation Using an Extreme Ultraviolet Microscope T. Amano, T. Terasawa, H. Watanabe, M. Toyoda, T. Harada, T. Watanabe, H. Kinoshita 2013/09 Proc. SPIE 8880 (2013) 888021 学会発表要旨
- 2013 露光装置、計測方法、露光方法、及びデバイス製造方法 西永壽、引間郁雄、豊田光紀、水野恭志、北尚憲、谷津修 2013/09 5360078 特許出願
- 2013 Simulation Analysis of the Characteristics of a High Magnification Imaging Optics for the Observation of Extreme Ultraviolet Lithography Mask to Predict Phase Defect Printability T. Terasawa, Y. Arisawa, T. Amano, T. Yamane, H. Watanabe, M. Toyoda, T. Harada, H. Kinoshita 2013/08 Jpn. J.Appl .Phys. 52(2013) 096601 学術論文
- 2013 Observation of Residual-Type Thin Absorber Defect on Extreme Ultraviolet Lithography Mask Using an Extreme Ultraviolet Microscope T. Amano, S. Iida, R. Hirano, T. Terasawa, H. Watanabe, K. Yamasoe, M. Toyoda, A. Tokimasa, T. Harada, T. Watanabe, H. Kinoshita) 2013/04 Appl. Phys. Express 6 (2013) 046501 学術論文
- 2012 高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察 山添健二郎, 豊田光紀, 羽多野忠, 柳原美廣, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄 東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集 12th 143 学会発表要旨
- 2012 軟X線顕微鏡の光軸調整用シングルパス点回折干渉計の開発 豊田光紀, 内田健太郎, 柳原美廣 2013/03 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 60th ROMBUNNO 28A-A2-9 学会発表要旨
- 2012 フレネル数の小さい軟X線用顕微光学系の結像特性 2013/02 光アライアンス 24(2) 50-55 研究・技術報告
- 2012 Design, fabrication, and test of an EUV mask imaging microscope for lithography generations with sub-16 nm half pitch M. Toyoda, K. Yamasoe, M. Yanagihara, T. Amano, T. Terasawa, A. Tokimasa,T.Harada, T. Watanabe, H. Kinoshita 2013/01 2013 International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography (Toyama, Japan) 学会発表要旨
- 2012 高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察 山添健二郎, 豊田光紀, 羽多野忠, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄, 柳原美廣 2012/12 応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集 67th 23-24 学会発表要旨
- 2012 点回折干渉計による軟X線用高倍率対物鏡の高精度波面測定 内田健太郎, 豊田光紀, 柳原美廣 2012/12 応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集 67th 25-26 学会発表要旨
- 2012 露光装置及び露光方法並びにデバイス製造方法 西永壽、引間郁雄、豊田光紀、水野恭志、北尚憲、谷津修 2012/11 5136566 特許出願
- 2012 At-Wavelength Extreme Ultraviolet Lithography Mask Observation Using a High-Magnification Objective with Three Multilayer Mirrors M. Toyoda, K. Yamasoe, T. Hatano, M. Yanagihara, A. Tokimasa, T. Harada, T. Watanabe, H. Kinoshit 2012/10 Appl. Phys. Express 5(2012) 112501. 学術論文
- 2012 At-Wavelength Observation of EUV Lithography Mask Using a High-Magnification Objective with Three Multilayer Mirrors 2012/09 2012 International Symposium on Extream Ultraviolet Lithography, (Brussels, Belgium) 学会発表要旨
- 2012 At-Wavelength EUV Lithography Mask Observation Using a High-Magnification Objective with Three Multilayer Mirrors M. Toyoda, K. Yamasoe, T. Hatano, M. Yanagihara, A. Tokimasa, T. Harada, T. Watanabe, H. Kinoshita 2012/05 The 56th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication (Hawaii, USA) 学会発表要旨
- 2012 光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法 2012/04 4976015 特許登録
- 2012 照明光学装置、露光装置、露光方法、およびマイクロデバイスの製造方法 2012/04 4976094 特許登録
- 2011 高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察 豊田光紀, 山添健二郎, 羽多野忠, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄, 柳原美広 2012/02 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 59th ROMBUNNO. 18A-A4-8 学会発表要旨
- 2011 高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察 山添健二郎, 豊田光紀, 羽多野忠, 柳原美廣, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄 2012/02 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 59th ROMBUNNO 学会発表要旨
- 2011 An EUV Mask-imaging Microscope for Lithography Generations with sub-16 nm Half Pitch M. Toyoda, K. Yamasoe, K. Uchida, M. Yanagihara, A. Tokimasa, T. Harada, H. Kinoshita, T. Amano, T. Terasawa) 2012/01 25th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (Kobe, Japan) 学会発表要旨
- 2011 Closed-Form Representations for Third-Order Aberrations of Two-Aspherical Mirror Aplanats with the Mirror Tilt and Decenter 2011/11 Opt. Rev., 18 (2011) 441-447 学術論文
- 2011 Closed-Form Representations for Third-Order Aberrations of Two-Aspherical Mirror Aplanats with the MirrorTilt and Decente M. Toyoda 2011/11 学術論文
- 2011 投影光学装置 豊田光紀、山本正樹 2011/10 4848510 特許登録
- 2011 Aplanatic Three‐Mirror Objective for High‐Magnification Soft X‐Ray Microscopy M. Toyoda, T. Jinno, M. Yanagihara 2011/09 AIP Conf. Proc 1365 (2011) 176-179. 国際会議プロシーディング
- 2011 地域と世界に貢献する東北大学多元物質科学研究所 軟X線多層膜光学の開発と応用―軟X線顕微鏡 柳原美廣, 江島丈雄, 羽多野忠, 津留俊英, 豊田光紀 2011/06 Mater. Integr. 24(4/5) 201-207 研究・技術報告
- 2011 軟Ｘ線顕微鏡とその基盤技術の開発 江島丈雄,羽多野忠,津留俊英,豊田光紀,柳原美廣 2011/04 Ｘ線結像光学ニューズレター 33 7-9 研究・技術報告
- 2010 広視野と高倍率を両立した軟X線多層膜顕微鏡の開発 豊田光紀, 神野貴義, 柳原美広 学会発表要旨
- 2010 広視野と高倍率を両立した軟X線多層膜顕微鏡の開発 豊田光紀, 神野貴義, 柳原美広 東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集 10th 103 学会発表要旨
- 2010 軟X線多層膜光学系による顕微鏡開発の現状とコヒーレント軟X線集光への展開 エクストリームフォトニクス研究 第11回 理研・分子研合同シンポジウム 平成22年 9-10 学会発表要旨
- 2010 回折光学装置、屈折光学装置、照明光学装置、露光装置および露光方法. 豊田光紀、北尚憲 2010/10 4599632 特許登録
- 2010 "Super‐Hierarchical" Microscope in EUV Region T. Ejima, M. Toyoda, T. Tsuru, T. Hatano, M. Yanagihara 2010/08 The 10th international conference on x-ray microscopy (Chicago, USA) 学会発表要旨
- 2010 Development of Wide Field of View EUV Microscope Using Normal Incident Multilayer Optics with LPP Light Source F. Ishida, T. Ejima, M. Toyoda, T. Tsuru, T. Hatano, M. Yanagihara, H. Mizutani 2010/08 he 10th international conference on x-ray microscopy (Chicago, USA) 学会発表要旨
- 2010 Novel multilayer-mirror optics for a whole tissue imaging M. Toyoda, T. Jinno, T. Harada, T. Hatano, M. Yanagihara 2010/08 The 10th international conference on x-ray microscopy (Chicago, USA) 学会発表要旨
- 2010 軟X線用高倍率対物鏡の結像特性 豊田光紀, 倉光康太, 柳原美広 2010/08 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 71st ROMBUNNO. 15A-ZT-9 学会発表要旨
- 2010 Theoretical Investigation of the Meaning of Odd-Order Aspherical Surface and Numerical Confirmation of Effectiveness in Rotational-Symmetric but Off-Axis Optics M. Shibuya, K. Maehara, Y. Ishikawa, A. Takada, K. Kobayashi, M. Toyoda, M. Tanikawa, S. Nakadate 2010/07 Opt. Eng. 49(2010) 073003 学術論文
- 2010 フレネル数の小さい軟X線用顕微光学系の結像特性 豊田光紀, 倉光康太, 柳原美廣 2010/07 光学シンポジウム講演予稿集 35th 33-34 学会発表要旨
- 2010 超高精細バイオイメージング用波面補正軟X線多層膜ミラーの開発 津留俊英, 羽多野忠, 原田哲男, 豊田光紀, 江島丈雄, 柳原美廣, 山本正樹 2010/05 光学 39 (2010) 219 学術論文
- 2010 Frustration of Direct Photoionizations of Rare Gas Clusters in Intense Extreme Ultraviolet Free-Electron Laser Pulses H. Iwayama, K. Nagaya, H. Murakami, M. Yao, H. Fukuzawa, X.J. Liu, G. Prümper, M. Okunishi, K. Shimada, K. Ueda, T. Harada, M. Toyoda, M. Yanagihara, M.Yamamoto, K. Motomura, N. Saito, A. Rudenko, J. Ullrich, L. Foucar, A. Czasch, R. Dörner, M. Nagasono, 2010/04 J. Phys. Conf. Ser. 212 (2010) 012014 学術論文
- 2009 EUV‐FEL光と運動量イメージングを用いたクラスター解離ダイナミクスの研究:光強度依存性 永谷清信, 岩山洋士, 八尾誠, 福澤宏宣, LIU X.‐J., PRUEMPER G., 奥西みさき, 嶋田浩三, 上田潔, 原田哲男, 豊田光紀, 柳原美広, 山本正樹, 本村幸治, 齋藤則生, RUDENKO A., ULLRICH J., FOUCAR L., CZASCH A., DOERNER R., 永園充, 東谷篤志, 矢橋牧名, 石川哲也, 大橋治彦, 木村洋昭 日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 22nd 65 学会発表要旨
- 2009 EUV‐FEL利用実験に用いる多粒子同期計測システムの開発と評価 本村幸治, 齋藤則生, 福澤宏宣, XIAOJING Liu, XIAOJING Liu, GEORG Pruemper, 奥西みさき, 嶋田浩三, 上田潔, 原田哲男, 豊田光紀, 柳原美広, 山本正樹, 岩山洋士, 永谷清信, 八尾誠, RUDENKO Artem, ULLRICH Artem, FOUCAR Lutz, CZASCH Achim, DOERNER Reinhard, 永園充, 東谷篤志, 矢橋牧名, 石川哲也, 大橋治彦, 木村洋昭 日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 22nd 2009年 64 学会発表要旨
- 2009 LPP光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM3 江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹 日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 22nd 2009年 68 学会発表要旨
- 2009 極紫外自由電子レーザー照射によるN2およびO2分子多光子多重イオン化 福澤宏宣, LIU Xiaojing, PRUEMPER Georg, 奥西みさき, 嶋田浩三, 上田潔, 原田哲男, 豊田光紀, 柳原美広, 山本正樹, 本村幸治, 齋藤則生, 岩山洋士, 永谷清信, 八尾誠, RUDENKO Artem, ULLRICH Joachim, FOUCAR Lutz, CZASCH Achim, DOERNER Reinhard, 永園充, 東谷篤志, 矢橋牧名, 石川哲也, 大橋治彦, 木村洋昭 日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集 22nd 2009年 65 学会発表要旨
- 2009 広視野と高倍率を両立する軟X線用顕微対物鏡の設計 倉光康太, 豊田光紀, 柳原美広 東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集 9th 2009年 136 学会発表要旨
- 2009 High Throughput and Wide Field of View EUV Microscope for Blur-Free One-Shot Imaging of Living Organisms T. Ejima, F. Ishida, H. Murata, M. Toyoda, T. Harada, T. Tsuru, T. Hatano, M. Yanagihara, M. Yamamoto, H. Mizutani 2010/03 Opt. Express 18 (2010) 7203-7209. 学術論文
- 2009 High Throughput and Wide Field of View EUV Microscope for Blur-Free One-Shot Imaging of Living Organisms (T. Ejima, F. Ishida, H. Murata, M. Toyoda, T. Harada, T. Tsuru, T. Hatano, M. Yanagihara, M. Yamamoto, H. Mizutani) 2010/03 The virtual Journal for Biomedical Optics, (2010). 5 学術論文
- 2009 露光装置及び露光方法並びにデバイス製造方法、計測装置 西永壽、引間郁雄、豊田光紀、水野恭志、北尚憲、谷津修 2010/03 4466300 特許登録
- 2009 Counting statistics in EUV-FEL shot-by-shot measurement for Ar cluster X.-J. Liu, G. Pruemper, H. Fukuzawa, K. Motomura, L. Foucar, M. Okunishi, K. Shimada, K. Ueda, H. Iwayama, K. Nagaya, M. Yao, N. Saito, T. Harada, M. Toyoda, M. Yanagihara, M. Yamamoto, A. Rudenko, J. Ullrich, A. Czasch, H. Schmidt-Boecking, R. Doerner, M 2009/12 International Workshop on Electronic Spectroscopy for Gas-phase molecules and Solid Surfaces (Matsushima, Japan) 学会発表要旨
- 2009 Momentum Spectroscopy of Fragment Ions Emitted from Xe Clusters Irradiated by EUV-FEL at Spring-8 H. Fukuzawa, X.J. Liu, K. Motomura, G. Prümper, M. Okunishi, K. Shimada, K. Ueda, T. Harada, M. Toyoda, M. Yanagihara, M. Yamamoto, K. Nagaya, H. Iwayama, M. Yao, N. Saito, A. Rudenko, J. Ullrich, L. Foucar, A. Czasch, R. Dörner, M. Nagasono, A. Higashiya 2009/12 J. Phys. Conf. Ser 194(2009) 012052 学術論文
- 2009 Multiple ionizations of rare-gas clusters by extreme ultraviolet free-electron laser at SPring-8 H. Fukuzawa, K. Motomura, X.-J. Liu, G. Pruemper, M. Okunishi, K. Shimada, K. Ueda, T. Harada, M. Toyoda, M. Yanagihara, M. Yamamoto, H. Iwayama, K. Nagaya, M. Yao, N. Saito, A. Rudenko, J. Ullrich, L. Foucar, A. Czasch, R. Doerner, M. Nagasono, A. Higash 2009/12 International Workshop on Electronic Spectroscopy for Gas-phase molecules and Solid Surfaces (Matsushima, Japan) 学会発表要旨
- 2009 Design Study of Two-Aspherical-Mirror Anastigmat with Reduced Sensitivities to Misalignments: Correction of Higher-Order Aberrations M. Toyoda, M. Yanagihara 2009/09 J. Phys. Conf. Ser., 186 (2009) 012076 学術論文
- 2009 軟X線用超高倍率顕微対物鏡の開発 豊田光紀, 神野貴義, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美廣 2009/09 応用物理学会学術講演会講演予稿集 70th(2) 626 学会発表要旨
- 2009 Frustration of direct photoionizations of Argon cllusters irradiated with intense EUV-FEL pulses H. Iwayama, K. Nagaya, M. Yao, H. Fukuzawa, X.J. Liu, G. Pruemper, M. Okunishi, K. Shimada, K. Ueda, T. Harada, M. Toyoda, M. Yanagihara, M. Yamamoto, K. Motomura, N. Saito, A. Rudenko, J. Ullrich, L. Foucar, A. Czasch, R. Doerner, M. Nagasono, A. Higashi 2009/07 XXVI International Conference on Photonic Electronic and Atomic Collisions (Kalamazoo, USA) 学会発表要旨
- 2009 軟X線用超高倍率顕微対物鏡の開発 豊田光紀, 神野貴義, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美広 2009/07 光学シンポジウム講演予稿集 34th 31-32 学会発表要旨
- 2009 Frustration of Direct Photoionization of Ar Clusters in Intense Extreme Ultraviolet Pulses from a Free Electron Laser H. Iwayama, K. Nagaya, M. Yao, H. Fukuzawa, X.J. Liu, G. Prümper, M. Okunishi, K. Shimada, K. Ueda, T. Harada, M. Toyoda, M. Yanagihara, M. Yamamoto, K. Motomura, N. Saito, A. Rudenko, J. Ullrich, L. Foucar, A. Czasch, R. Dörner, M. Nagasono, A. Higashiya 2009/06 J. Phys. B 42(2009) 134019 学術論文
- 2009 照明光学装置、露光装置および露光方法 田中裕久、豊田光紀、谷津修 2009/06 4324957 特許登録
- 2009 Multi-Coincidence Ion Detection System for EUV–FEL Fragmentation Experiments at Spring-8 K. Motomura, L. Foucar, A. Czasch, N. Saito, O. Jagutzki, H. Schmidt-Böcking, R. Dörner, X.J. Liu, H. Fukuzawa, G. Prümper, K. Ueda, M. Okunishi, K. Shimada, T. Harada, M. Toyoda, M. Yanagihara, M. Yamamoto, H. Iwayama, K. Nagaya, M. Yao, A. Rudenko, J. U 2009/05 Nucl. Instrum. Methods. Phys. Res. A, 606(2009) 770-773 学術論文
- 2009 照明光学装置、露光装置および露光方法 2009/05 4305611 特許登録
- 2009 Dead-Time-Free Ion Momentum Spectroscopy of Multiple Ionization of Xe Clusters Irradiated by EUV Free-Electron Laser Pulses (H. Fukuzawa, X.J. Liu, G. Prümper, M. Okunishi, K. Shimada, K. Ueda, T. Harada, M. Toyoda, M. Yanagihara, M. Yamamoto, H. Iwayama, K. Nagaya, M. Yao, K. Motomura, N. Saito, A. Rudenko, J. Ullrich, L. Foucar, A. Czasch, R. Dörner, M. Nagasono, A. Higashiy 2009/03 Phys. Rev. (2009) A, 79 031201. 学術論文
- 2008 22pZF-3 極紫外FELによる原子・クラスター多重イオン化実験I. : 反跳イオン運動量分光による高次光分布測定(22pZF 原子・分子,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)) 福澤 宏宣, 山本 正樹, 岩山 洋士, 永谷 清信, 八尾 誠, 本村 幸治, 齋藤 則生, Rudenko Artem, Ullrich Joachim, Foucar Lutz, Czasch Achim, Liu Xiao Jing, Dorner Reinhard, 石川 顕一, 永園 充, 東谷 篤志, 矢橋 牧名, 田中 隆次, 石川 哲也, 大橋 治彦, 木村 洋昭, Prumper Georg, 奥西 みさき, 嶋田 浩三, 上田 潔, 原田 哲男, 豊田 光紀, 柳原 美広 日本物理学会講演概要集 63(0) 2008年 63(0) 学会発表要旨
- 2008 22pZF-4 極紫外FELによる原子・クラスター多重イオン化実験II. : クラスター多重イオン化のサイズ依存性(22pZF 原子・分子,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)) 岩山 洋士, 原田 哲男, 豊田 光紀, 柳原 美広, 山本 正樹, 本村 奉治, 齋藤 則生, Rudenko Artem, Ullrich Joachim, Foucar Lutz, Czasch Achim, 永谷 清信, Dorner Reinhard, 永園 充, 東谷 篤志, 矢橋 牧名, 石川 哲也, 大橋 治彦, 木村 洋昭, 八尾 誠, 福澤 宏直, Liu XiaoJing, Prumper Georg, 奥西 みさき, 嶋田 浩三, 上田 潔 日本物理学会講演概要集 63(0) 2008年 63(0) 学会発表要旨
- 2008 22pZF-5 極紫外FELによる原子・クラスター多重イオン化実験III. : クラスター多重イオン化のレーザー波長・レーザー強度依存性(22pZF 原子・分子,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)) 永谷 清信, 原田 哲男, 豊田 光紀, 柳原 美広, 山本 正樹, 本村 幸治, 齋藤 則生, Rudenko Artem, Ullrich Joachim, Foucar Lutz, Czasch Achim, 岩山 洋士, Dorner Reinhard, 永園 充, 東谷 篤志, 矢橋 牧名, 石川 哲也, 大橋 治彦, 木村 洋昭, 八尾 誠, 福澤 宏宣, Liu XiaoJing, Prumper Georg, 奥西 みさき, 嶋田 浩三, 上田 潔 日本物理学会講演概要集 2008年 63(0) 学会発表要旨
- 2008 極紫外FEL光照射によるXeクラスターの多重イオン化における光強度依存性 福澤宏宣, 福澤宏宣, LIU XiaoJing, LIU XiaoJing, PRUEMPER Georg, PRUEMPER Georg, 奥西みさき, 嶋田浩三, 上田潔, 上田潔, 原田哲男, 豊田光紀, 柳原美広, 山本正樹, 岩山洋士, 永谷清信, 八尾誠, 本村幸治, 齋藤則生, RUDENKO Artem, RUDENKO Artem, ULLRICH Joachim, FOUCAR Lutz, CZASCH Achim, DOERNER Reinhard, 永園充, 東谷篤志, 矢橋牧名 分子科学討論会講演プログラム&(WEB ONLY) 2008年 要旨(Web) 2nd ROMBUNNO.3P040 040 学会発表要旨
- 2008 極紫外FEL光照射による希ガス・クラスターの多重イオン化 永谷清信, 永谷清信, 岩山洋士, 岩山洋士, 八尾誠, 八尾誠, 福澤宏宣, 福澤宏宣, LIU X.‐J., LIU X.‐J., PRUEMPER G., PRUEMPER G., 奥西みさき, 嶋田浩三, 上田潔, 上田潔, 原田哲男, 豊田光紀, 柳原美広, 山本正樹, 本村幸治, 本村幸治, 齋藤則生, 齋藤則生, RUDENKO A., RUDENKO A., ULLRICH J., FOUCAR L., CZASCH A., DOERNER R., 永園充, 東谷篤志, 矢橋牧名, 石川哲 分子科学討論会講演プログラム&要旨(Web) . (WEB ONLY) 2008年 2nd ROMBUNNO 2B18 学会発表要旨
- 2008 極紫外FEL光利用実験に用いる多粒子同期計測システムの開発―Krクラスター実験での性能評価― 本村幸治, 本村幸治, 齋藤則生, 齋藤則生, 福澤宏宣, 福澤宏宣, LIU XiaoJing, LIU XiaoJing, PRUEMPER Georg, PRUEMPER Georg, 奥西みさき, 嶋田浩三, 上田潔, 上田潔, 原田哲男, 豊田光紀, 柳原美広, 山本正樹, 岩山洋士, 岩山洋士, 永谷清信, 永谷清信, 八尾誠, 八尾誠, RUDENKO Artem, RUDENKO Artem, ULLRICH Joachim, FOUCAR Lutz, CZASCH Achim, DOER 分子科学討論会講演プログラム&要旨(Web) 2nd ROMBUNNO.v3P039 (WEB ONLY) 2008年 要旨(Web) 2nd ROMBUNNO v3P039 学会発表要旨
- 2008 Dead-Time-Free Ion Momentum Spectroscopy of Multiple Ionization of Xe Clusters Irradiated by EUV Free-Electron Laser Pulses H. Fukuzawa, X.J. Liu, G. Prümper, M. Okunishi, K. Shimada, K. Ueda, T. Harada, M. Toyoda, M. Yanagihara, M. Yamamoto, H. Iwayama, K. Nagaya, M. Yao, K. Motomura, N. Saito, A. Rudenko, J. Ullrich, L. Foucar, A. Czasch, R. Dörner, M. Nagasono, A. Higashiya 2009/03 Phys. Rev. A, 79 (2009) 031201 学術論文
- 2008 オプティカルインテグレータ、照明光学装置、露光装置および露光方法 2008/10 4207478 特許登録
- 2008 Cluster size dependence of the multiphoton absorption of argon clusters in intense EUV-FEL pulses H. Iwayama, K. Nagaya, M. Yao, H. Fukuzawa, X. J. Liu, G. Pruemper, M. Okunishi, K. Shimada, K. Ueda, T. Harada, M. Toyoda, M. Yanagihara, M. Yamamoto, K. Motomura, N. Saito, A. Rudenko, J. Ullrich, L. Foucar, A. Czasch, R. Doerner, M. Nagasono, A. Higash 2008/09 11th International Conference on Multiphoton Processes (Heidelberg, Germany) 学会発表要旨
- 2008 Cluster size dependence of the multiple ionization of Ar clusters irradiated by intense EUV pulses from free electron laser H. Iwayama, K. Nagaya, M. Yao, H. Fukuzawa, X.-J. Liu, G. Pruemper, M. Okunishi, K. Shimada, K. Ueda, T. Harada, M. Toyoda, M. Yanagihara, M. Yamamoto, K. Motomura, N. Saito, A. Rudenko, J. Ullrich, L. Foucar, A. Czasch, R. Doerner, M. Nagasono, A. Higash 2008/09 XIV International Symposium on Small Particles and Inorganic Clusters (Valladolid, Spain) 学会発表要旨
- 2008 Diagnostic of the harmonic contribution in the EUV-FEL beam using recoil-ion momentum imaging X. J. Liu, G. Pruemper, H. Fukuzawa, M. Okunishi, K. Shimada, K. Ueda, T. Harada, M. Toyoda, M. Yanagihara, M. Yamamoto, N. Saito, K. Motomura, H. Iwayama, K. Nagaya, M. Yao, A. Rudenko, J. Ullrich, L. Foucar, A. Czasch, R. Dorner, M. Nagasono, A. Higashi 2008/09 11th International Conferenceon Multiphoton Processes (Heidelberg, Germany) 学会発表要旨
- 2008 EUV自由電子レーザー集光用直入射光学系の開発 豊田光紀, 原田哲男, 山本正樹, 柳原美広, 福澤宏宣, LIU X. J., PRUMPER G., PRUMPER G., 奥西みさき, 嶋田浩三, 上田潔, 岩山洋士, 永谷清信, 八尾誠, 本村幸司, 本村幸司, 齋藤則生, RUDENKO A., ULLRICH J., FOUCAR L., CZASCH A., DORNER R., 石川顕一, 永園充, 東谷篤志, 矢橋牧名, 田中隆次, 石川哲也, 大橋治彦, 木村洋昭 2008/09 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2008年9月 69th(2) 594 学会発表要旨
- 2008 Interaction of intense EUV femtosecond laser pulses from free electron laser with rare gas clusters K. Nagaya, H. Iwayama, M. Yao, H. Fukuzawa, X. J. Liu, G. Pruemper, M. Okunishi, K. Shimada, K. Ueda, T. Harada, M. Toyoda, M. Yanagihara, M. Yamamoto, K. Motomura, N. Saito, A. Rudenko, J. Ullrich, L. Foucar, A. Czasch, R. Doerner, M. Nagasono, A. Higash 2008/09 11th International Conference on Multiphoton Processes (Heidelberg, Germany) 学会発表要旨
- 2008 Laser power dependence of the multiple ionization of Xe clusters irradiated by intense EUV pulses from free electron laser H. Fukuzawa, X.-J. Liu, G. Pruemper, M. Okunishi, K. Shimada, K. Ueda, T. Harada, M. Toyoda, M. Yanagihara, M. Yamamoto, H. Iwayama, K. Nagaya, M. Yao, K. Motomura, N. Saito, A. Rudenko, J. Ullrich, L. Foucar, A. Czasch, R. Doerner, M. Nagasono, A. Higash 2008/09 XIV International Symposium on Small Particles and Inorganic Clusters (Valladolid, Spain) 学会発表要旨
- 2008 Multiple ionization of rare gas clusters using the EUV-FEL at SPring-8 G. Pruemper, H. Fukuzawa, X.J. Liu, M. Okunishi, K. Shimada, K. Ueda,T. Harada, M. Toyoda, M. Yanagihara, M. Yamamoto, N. Saito, K. Motomura, H. Iwayama, K. Nagaya, M. Yao, A. Rudenko, J. Ullrich, L. Foucar, A. Czasch, R. Doerner, M. Nagasono, A. Higashiy 2008/09 11th International Coference on Multiphoton Processes (Heidelberg, Germany) 学会発表要旨
- 2008 Multiple photoionization of rare gas clusters in intense EUV femtosecond laser pulse from free electron laser K. Nagaya, H. Iwayama, M. Yao, H. Fukuzawa, X.-J. Liu, G. Pruemper, M. Okunishi, K. Shimada, K. Ueda, T. Harada, M. Toyoda, M. Yanagihara, M. Yamamoto, K. Motomura, N. Saito, A. Rudenko, J. Ullrich, L. Foucar, A. Czasch, R. Doerner, M. Nagasono, A. Higash 2008/09 XIV International Symposium on Small Particles and Inorganic Clusters (Valladolid, Spain) 学会発表要旨
- 2008 Power dependence of the multiple ionization of xenon clusters irradiated by EUV-FEL pulses H. Fukuzawa, X. J. Liu, G. Pruemper, M. Okunishi, K. Shimada, K. Ueda, T. Harada, M. Toyoda, M. Yanagihara, M. Yamamoto, H. Iwayama, K. Nagaya, M. Yao, K. Motomura, N. Saito, A. Rudenko, J. Ullrich, L. Foucar, A. Czasch, R. Doerner, M. Nagasono, A. Higash 2008/09 11th International Conference on Multiphoton Processes (Heidelberg, Germany) 学会発表要旨
- 2008 レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM3の開発 3 江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 羽多野忠, 柳原美広 2008/09 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2008年9月 69th(2) 590 学会発表要旨
- 2008 炭素の窓多層膜顕微鏡を目指した0.1%オーダー精度波長マッチング技術の開発 原田哲男, 神野貴義, 豊田光紀, 羽多野忠, 山本正樹 2008/09 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2008年9月 69th(2) 594 学会発表要旨
- 2008 直入射非球面鏡による広視野軟X線結像系 豊田光紀, 山本正樹, 柳原美広 2008/09 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2008年9月 69th(0) 72 学会発表要旨
- 2008 反跳イオン運動量分光法によるEUV‐FEL光の高次光分布測定 福澤宏宣, PRUEMPER Georg, LIU XiaoJing, 奥西みさき, 嶋田浩三, 上田潔, 原田哲男, 豊田光紀, 柳原美広, 山本正樹, 岩山洋士, 永谷清信, 八尾誠, 本村幸治, 齋藤則生, RUDENKO Artem, ULRICH Joachim, FOUCAR Lutz, CZASCH Achim, DOERNER Reinhard, 石川顕一, 永園充, 東谷篤志, 矢橋牧名, 田中隆次, 石川哲也, 大橋治彦, 木村洋昭 2008/09 応用物理学会学術講演会講演予稿集 2008年9月 69th(3) 994 学会発表要旨
- 2008 EUV‐FELによるXeクラスターの多重イオン化 福澤宏宣, LIU XiaoJing, PRUEMPER Georg, 奥西みさき, 嶋田浩三, 上田潔, 原田哲男, 豊田光紀, 柳原美広, 山本正樹, 岩山洋士, 永谷清信, 八尾誠, 本村幸治, 齋藤則生, RUDENKO Artem, ULLRICH Joachim, FOUCAR Lutz, CZASCH Achim, DOERNER Reinhard, 永園充, 東谷篤志, 矢橋牧名, 石川哲也, 大橋治彦, 木村洋昭 2008/08 原子衝突研究協会研究会講演概要集 2008年8月 33rd 33 学会発表要旨
- 2008 EUV‐FEL光利用実験に用いる多粒子同期計測システムの開発と評価 本村幸治, 齋藤則生, 福澤宏宣, LIU XiaoJing, PRUEMPER Georg, 奥西みさき, 嶋田浩三, 上田潔, 原田哲男, 豊田光紀, 柳原美広, 山本正樹, 岩山洋士, 永谷清信, 八尾誠, RUDENKO Artem, ULLRICH Joachim, FOUCAR Lutz, CZASCH Achim, DOERNER Reinhard, 永園充, 東谷篤志, 矢橋牧名, 石川哲也, 大橋治彦, 木村洋昭 2008/08 原子衝突研究協会研究会講演概要集 2008年8月 33rd 72 学会発表要旨
- 2008 極紫外FELによる原子・クラスター多重イオン化実験 I.反跳イオン運動量分光による高次光分布測定 福澤宏宣, LIU XiaoJing, PRUEMPER Georg, 奥西みさき, 嶋田浩三, 上田潔, 原田哲男, 豊田光紀, 柳原美広, 山本正樹, 岩山洋士, 永谷清信, 八尾誠, 本村幸治, 齋藤則生, RUDENKO Artem, ULLRICH Joachim, FOUCAR Lutz, CZASCH Achim, DOERNER Reinhard, 石川顕一, 永園充, 東谷篤志, 矢橋牧名, 田中隆次, 石川哲也, 大橋治彦, 木村洋昭 2008/08 日本物理学会講演概要集 2008年8月 63(2) 146 学会発表要旨
- 2008 極紫外FELによる原子・クラスター多重イオン化実験 II.クラスター多重イオン化のサイズ依存性 岩山洋士, 永谷清信, 八尾誠, 福澤宏宣, LIU XiaoJing, PRUEMPER Georg, 奥西みさき, 嶋田浩三, 上田潔, 原田哲男, 豊田光紀, 柳原美広, 山本正樹, 本村幸治, 齋藤則生, RUDENKO Artem, ULLRICH Joachim, FOUCAR Lutz, CZASCH Achim, DOERNER Reinhard, 永園充, 東谷篤志, 矢橋牧名, 石川哲也, 大橋治彦, 木村洋昭 2008/08 日本物理学会講演概要集 2008年8月 63(2) 146 学会発表要旨
- 2008 極紫外FELによる原子・クラスター多重イオン化実験 III.クラスター多重イオン化のレーザー波長・レーザー強度依存性 永谷信清, 永谷信清, 岩山洋士, 八尾誠, 福澤宏宣, LIU XiaoJing, PRUMPER Georg, 奥西みさき, 嶋田浩三, 上田潔, 原田哲男, 豊田光紀, 柳原美広, 山本正樹, 本村幸治, 齋藤則生, RUDENKO Artem, ULLRICH Joachim, FOUCAR Lutz, CZASCH Achim, DORNER Reinhard, 永園充, 東谷篤志, 矢橋牧名, 石川哲也, 大橋治彦, 木村洋昭 2008/08 日本物理学会講演概要集 2008年8月 63(2) 147 学会発表要旨
- 2008 反跳イオン運動量分光法で探るEUV‐FEL光の高次光分布 福澤宏宣, PRUEMPER Georg, LIU XiaoJing, 奥西みさき, 嶋田浩三, 上田潔, 原田哲男, 豊田光紀, 柳原美広, 山本正樹, 岩山洋士, 永谷清信, 八尾誠, 本村幸治, 齋藤則生, RUDENKO Artem, ULLRICH Joachim, FOUCAR Lutz, CZASCH Achim, DOERNER Reinhard, 石川顕一, 永園充, 東谷篤志, 矢橋牧名, 石川哲也, 田中隆次, 大橋治彦, 木村洋昭 2008/08 原子衝突研究協会研究会講演概要集 33rd 2008年8月 73 学会発表要旨
- 2008 Analytical Designing of Two-Aspherical-Mirror Optics for Soft X-Ray Imaging M. Toyoda, M. Yamamoto, M. Yanagihara) 2008/07 9th International Conference on X-Ray Microscopy (Zurich, Switzerland) 学会発表要旨
- 2008 Exact Period Thickness Control of Soft X-ray Multilayers on Curved Substrates T. Harada, T. Jinno, M. Toyoda, T. Hatano, M. Yamamoto 2008/07 9th International Conference on X-Ray Microscopy (Zurich, Switzerland) 学会発表要旨
- 2008 回折光学装置、屈折光学装置、照明光学装置、露光装置および露光方法 豊田光紀、谷津修 2008/04 4106701 特許登録
- 2007 軟X線多層膜結像鏡用の0.1%オーダー精度波長マッチング技術開発 原田哲男, 神野貴義, 豊田光紀, 羽多野忠, 山本正樹 2008/03 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 55th(2) 695 2008年3月 55th(2) 695 学会発表要旨
- 2007 High throughput EUV Microscope TXM3 for single shot imaging T. Ejima, H. Murata, Y. Nakamura, M. Toyoda, T. Harada, M. Furudate, A. Arai, E. Sasaki, S. Yanagida, T. Tsuru, T. Hatano, M. Yanagihara, M. Yamamoto) 2008/02 The 9th International Conference on the Physics of X-Ray Multilayer Structures (Montana, USA) 学会発表要旨
- 2007 High throughput EUV Microscope TXM3 for single shot imaging T. Ejima, H. Murata, Y. Nakamura, M. Toyoda, T. Harada, M. Furudate, A. Arai, E. Sasaki, S. Yanagida, T. Tsuru, T. Hatano, M. Yanagihara, M. Yamamoto 2008/02 The 9th International Conference on the Physics of X-Ray Multilayer Structures (Montana, USA) 学会発表要旨
- 2007 軟X線Schwarzschild顕微対物用1nm形状精度精密球面鏡の開発 神野貴義, 豊田光紀, 柳原美広, 田中勇 2007/12 応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集 62nd 184-185 学会発表要旨
- 2007 ミラーの偏心誤差に強い軟X線用2枚凹面アプラナティック対物鏡の開発 豊田光紀, 山本正樹, 柳原美広 2007/09 応用物理学会学術講演会講演予稿集 68th(2) 711 学会発表要旨
- 2007 レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM3の開発 2 江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 古舘三七二, 荒井彰, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹 2007/09 応用物理学会学術講演会講演予稿集 68th(2) 712 学会発表要旨
- 2007 Design of Aspherical Imaging Optics ToleratingPractical Misalignments for Soft-X-Ray Microscopes M. Toyoda, M. Yamamoto, M. Yanagihara 2007/07 15th International Conference on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics (Berlin, Germany) 学会発表要旨
- 2007 Development of Transmission-type X-ray Multilayer Mirror Microscope using LPP source T. Ejima, H. Murata, M. Toyoda, M. Yanagihara 2007/07 15th International Conference on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics (Berlin, Germany) 学会発表要旨
- 2007 X-Ray Magnetic Circular Dichroism Studies for Fe/Si Interfaces Using Standing Waves K. Sato, M. Sugawara, T. Jinno, M. Toyoda, T. Hatano, A. Arai, M. Yanagihara 2007/07 J. Phys. Conf. Ser., 83 (2007) 012012. 学術論文
- 2007 X-ray MCD studies for Fe/Si interfaces using standing waves M. Yanagihara, K. Sato, T. Jinno, M. Toyoda, T. Hatano, A. Arai 2007/07 15th International Conference on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics (Berlin, Germany) 学会発表要旨
- 2006 28aPS-4 Fe/Si磁性多層膜のFe L_<2,3> MCDスペクトル(28aPS 領域5ポスターセッション,領域5(光物性)) 菅原 真幸, 佐藤 功典, 羽多野 忠, 豊田 光紀, 柳原 美広 日本物理学会講演概要集 2006年 61(0) 学会発表要旨
- 2006 レーザープラズマ光源を用いた透過結像型極紫外顕微鏡TEUVMの開発 江島丈雄, 村田浩道, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 古舘三七二, 荒井彰, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹 2007/03 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 54th(2) 755 学会発表要旨
- 2006 Fe L2,3 MCD Spectra from Fe/Si Multilayers M. Sugawara, K. Sato, T. Hatano, M. Toyoda, M. Yanagihara 2006/12 Photon Factory Activity Report 2005 Part B #23 125 学会発表要旨
- 2006 実用的なアライメント誤差を許容する軟X線用非球面アプラナティック結像鏡の設計 豊田光紀, 山本正樹, 柳原美広 2006/11 日本分光学会講演要旨集 2006 574-575 学会発表要旨
- 2006 実用的なアライメント誤差を許容する軟X線用非球面アプラナティック結像鏡の設計 豊田光紀, 山本正樹, 柳原美広 2006/08 応用物理学会学術講演会講演予稿集 67th(2) 2006年8月 635 学会発表要旨
- 2006 Soft X-Ray MCD Studies on Interfaces in Fe/Si Multilayers M. Sugawara, K. Sato, T. Hatano, M. Toyoda, M. Yanagihara 2006/07 KEK Proceedings 2006-3 (2006) 348-352 国際会議プロシーディング
- 2006 Analytical Designing of Two-Aspherical-Mirror Anastigmats Permitting Practical Misalignments in a Soft-X-Ray Optics M. Toyoda, M. Yamamoto 2006/05 Opt. Rev., 13 (2006) 149-157 学術論文
- 2005 Analytical Designing of Two-aspherical-mirror Anastigmat Permitting Practical Misalignments for Soft-X-ray Imaging M. Toyoda, M. Yamamoto, M. Yanagihara) 2005/07 The 8th International Conference on X-ray Microscopy (Himeji, Japan) 学会発表要旨
- 2005 Analytical Designing of Two-Aspherical-Mirror Anastigmat Permitting Practical Misalignments for Soft-X-Ray Imaging M. Toyoda, M. Yamamoto, M. Yanagihara 2005/07 IPAP Conf. Ser. 7 (2005) 186-188 国際会議プロシーディング
- 2005 Schwarzschild Microscope in Vacuum Ultraviolet and Soft X-Ray Regions M. Watanabe, M. Yanagihara, T. Ejima, M. Toyoda, Y. Kondo, T. Hatano, T. Tsuru, M. Yamamoto) 2005/06 Nuclear Science and Techniques 16(2005) 129-138. 学術論文
- 2004 実用的なアライメント誤差を許容する軟X線用結像光学系の設計 豊田光紀, 山本正樹 2005/03 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2005年3月 52nd(2) 800 学会発表要旨
- 2004 瞳の遮光に着目した2面非球面高スループット対物鏡の新設計手法 豊田光紀, 山本正樹 2005/03 応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2005年3月 52nd(3) 1118 学会発表要旨
- 2004 Development of Soft X-ray Wavefront Control Technology for Imaging Multilayer Mirrors M. Yamamoto, T. Hatano, T. Tsuru, M. Furudate, T.Harada, T. Ohigashi, M. Toyoda, T. Ejima, M. Yanagihara 2005/02 2nd International Symposium on Technologies and Applications of Photoelectron Micro-Spectroscopy with Laser-based VUV Sources (Tsukuba, Japan) 学会発表要旨
- 2000 Tracking of Individual Nanocrystals Using Diffracted X Rays Y.C. Sasaki, Y. Suzuki, N. Yagi, S. Adachi, M. Ishibashi, H. Suda, M. Toyoda, M. Yanagihara 2000/09 Phys. Rev. E 62 (2000) 3843-3847 学術論文
- 2000 A Soft-X-Ray Imaging Microscope with a Multilayer-Coated Schwarzschild Objective: Imaging Tests M. Toyoda, Y. Shitani, M. Yanagihara, T. Ejima, M. Yamamoto, M. Watanabe 2000/04 Jpn. J. Appl. Phys. Pt. 1, 39 1926-1929 学術論文
- 1999 多層膜対物鏡を用いた結像型軟X線蛍光顕微鏡の開発と性能評価 豊田 光紀, 志谷 能崇, 柳原 美広 東北大学科学計測研究所報告 48(1) 39-61 学会発表要旨
- 1998 Zero-Order-Free, Multilayer-Coated Laminar Grating in the 31 nm Region M. Toyoda, N. Miyata, M. Yanagihara 1998/04 Jpn. J. Appl. Phys. Pt. 1, 37 (1998) 2066-2067 学術論文
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