学術論文
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Exact Period Thickness Control of Soft X-ray Multilayers on Curved Substrates
曲面基板上に成膜した軟X線多層膜ミラーの精密周期長制御法の開発
学会発表要旨
T. Harada, T. Jinno, M. Toyoda, T. Hatano, M. Yamamoto
2008/07
9th International Conference on X-Ray Microscopy (Zurich, Switzerland)
2008
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