2面非球面ミラー光学系で生じる5次以上の収差を補正するための実用的な設計手法を開発した。ミラー動径座標の6次および8次の面変形を適用し、これらの非球面係数の最適化により横収差を最小にした。提案手法によれば、開口数が0.1を超える系で顕著な5次以上の高次収差を、３次収差係数を変化させずに補正することが可能となる。本手法を、ミスアライメント許容誤差が大きい３次非球面設計に適用した結果、1μmを超える大きなミラー偏心を許容しながら、20nmより高い回折限界分解能が得られることを示した。