極紫外線（EUV）リソグラフィマスクの実波長観察のため、多極紫外線（EUV）リソグラフィマスクの実波長観察のため、多層膜ミラー対物光学系による結像型EUV顕微鏡を開発した。1400倍を超える高倍率を実現する新規光学設計に基づき作製した対物光学系は、EUV用のCCDカメラと組み合わせれば、10nmオーダーの回折限界分解能を実現できる。さらに、対物光学系は軸外収差を良好に補正するため、直径100μmを超える広い視野を持ち、マスク全体の迅速な検査を可能にする。論文では、マスク上のテストパターンの反射像を波長13