学術論文

基本情報

氏名 豊田光紀
氏名(カナ) トヨダ ミツノリ
氏名(英語) TOYODA Mitsunori

題名

実用的なアライメント誤差を許容する軟X線用結像光学系の設計

概要

 

種別

学会発表要旨

共著者名

豊田光紀, 山本正樹

発行又は発表の年月

2005/03

発行所

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 2005年3月

巻・号

52nd(2)

掲載ページ

800

DOI*/ISBN*

 

年度

2004

備考