学術論文

基本情報

氏名 豊田光紀
氏名(カナ) トヨダ ミツノリ
氏名(英語) TOYODA Mitsunori

題名

高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察

概要

 

種別

学会発表要旨

共著者名

豊田光紀, 山添健二郎, 羽多野忠, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄, 柳原美広

発行又は発表の年月

2012/02

発行所

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)

巻・号

59th ROMBUNNO.

掲載ページ

18A-A4-8

DOI*/ISBN*

 

年度

2011

備考