学術論文

基本情報

氏名 豊田光紀
氏名(カナ) トヨダ ミツノリ
氏名(英語) TOYODA Mitsunori

題名

EUV用多層膜ミラー光学系で生じる色収差の定量的計算法の開発

概要

 

種別

学会発表要旨

共著者名

松本竜弦, 豊田光紀, 高田正樹

発行又は発表の年月

 

発行所

東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集

巻・号

15th

掲載ページ

84

DOI*/ISBN*

 

年度

2015

備考