直入射型のSchwarzschild対物レンズを用いた真空紫外線および軟X線領域の顕微鏡を概説した。対物レンズは、高反射多層膜ミラーを成膜した凹面鏡と凸面鏡とからなる。顕微鏡は、慣性閉じ込め融合プラズマの診断や、実験室光源と組合せ、軽元素から成る無機および有機材料の微細構造を調べるために使用されてきた。論文では、東北大学で開発された2つの実験室顕微鏡の構造と性能を示した。それらの1つでは結像型で、 Siウエハ上にWとSiO 2からなる格子パターンの観察例を報告した。もう一つはHeガス放電ランプを用いた紫外