学術論文

基本情報

氏名 豊田光紀
氏名(カナ) トヨダ ミツノリ
氏名(英語) TOYODA Mitsunori

題名

Design of Aspherical Imaging Optics ToleratingPractical Misalignments for Soft-X-Ray Microscopes

概要

大きなアライメント誤差を許容する軟X線顕微鏡用の非球面結像系の光学設計

種別

学会発表要旨

共著者名

M. Toyoda, M. Yamamoto, M. Yanagihara

発行又は発表の年月

2007/07

発行所

15th International Conference on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics (Berlin, Germany)

巻・号

 

掲載ページ

 

DOI*/ISBN*

 

年度

2007

備考