学術論文

基本情報

氏名 豊田光紀
氏名(カナ) トヨダ ミツノリ
氏名(英語) TOYODA Mitsunori

題名

マグネトロンスパッタに適用できる多層膜ミラーの周期長分布制御機構の開発(2)

概要

 

種別

学会発表要旨

共著者名

金子明誉, 豊田光紀, 高田 昌樹

発行又は発表の年月

2016/12

発行所

第71回応用物理学会東北支部学術講演会(仙台)

巻・号

応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集(Web)

掲載ページ

71st ROMBUNNO.2aB09

DOI*/ISBN*

 

年度

2016

備考