学術論文
題名
概要
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種別
共著者名
発行又は発表の年月
発行所
巻・号
掲載ページ
DOI＊／ＩＳＢＮ＊
年度
備考
基本情報
氏名
豊田光紀
氏名（カナ）
トヨダ ミツノリ
氏名（英語）
TOYODA Mitsunori
題名
マグネトロンスパッタに適用できる多層膜ミラーの周期長分布制御機構の開発（2）
概要
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種別
学会発表要旨
共著者名
金子明誉, 豊田光紀, 高田 昌樹
発行又は発表の年月
2016/12
発行所
第71回応用物理学会東北支部学術講演会(仙台)
巻・号
応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集(Web)
掲載ページ
71st ROMBUNNO.2aB09
DOI＊／ＩＳＢＮ＊
年度
2016
備考
