学術論文

基本情報

氏名 豊田光紀
氏名(カナ) トヨダ ミツノリ
氏名(英語) TOYODA Mitsunori

題名

軟X線多層膜結像鏡用の0.1%オーダー精度波長マッチング技術開発

概要

 

種別

学会発表要旨

共著者名

原田哲男, 神野貴義, 豊田光紀, 羽多野忠, 山本正樹

発行又は発表の年月

2008/03

発行所

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 55th(2) 695 2008年3月

巻・号

55th(2)

掲載ページ

695

DOI*/ISBN*

 

年度

2007

備考