学術論文

基本情報

氏名 豊田光紀
氏名(カナ) トヨダ ミツノリ
氏名(英語) TOYODA Mitsunori

題名

Aplanatic Three‐Mirror Objective for High‐Magnification Soft X‐Ray Microscopy

概要

EUV顕微鏡用の光学系に求められる焦点距離の短縮のため、長焦点距離の主光学系とアフォーカル光学系を組合せた新しい光学解を提案した。この新規解は3つの球面鏡で構成され、実験室顕微鏡に求められる、全長1000mm程度でX線CCDによりで回折限界分解能をえることができる。開口数0.25の設計例により、新規解では、高倍率および広い視野を両方できることを明らかにした。

種別

国際会議プロシーディング

共著者名

M. Toyoda, T. Jinno, M. Yanagihara

発行又は発表の年月

2011/09

発行所

AIP Conf. Proc

巻・号

1365 (2011)

掲載ページ

176-179.

DOI*/ISBN*

 

年度

2011

備考