学術論文

基本情報

氏名 豊田光紀
氏名(カナ) トヨダ ミツノリ
氏名(英語) TOYODA Mitsunori

題名

Low-order aberration correction of extreme ultraviolet imaging objective with deformable multilayer mirrors

概要

EUV領域に適用できるデフォーマブルミラーによる低次収差の補正に関する研究

種別

学会発表要旨

共著者名

M. Toyoda, R. Sunayama, M. Yanagihara.

発行又は発表の年月

2016/09

発行所

9th edition of the MEDSI conference (Barcelona, Spain)

巻・号

 

掲載ページ

 

DOI*/ISBN*

 

年度

2016

備考