学術論文
|
|
Low-order aberration correction of extreme ultraviolet imaging objective with deformable multilayer mirrors
EUV領域に適用できるデフォーマブルミラーによる低次収差の補正に関する研究
学会発表要旨
M. Toyoda, R. Sunayama, M. Yanagihara.
2016/09
9th edition of the MEDSI conference (Barcelona, Spain)
2016
|
