学術論文
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Low-Order Aberrations Correction of Extreme Ultraviolet Imaging Objective with Deformable Multilayer Mirrors
極端紫外線（EUV）顕微鏡の高空間分解能を実現するためには、対物ミラーの波面収差低減が重要となる。 特に、ミラー基板の形状誤差に起因する非点収差は、空間分解能を損なう主要因の一つである。 論文では、EUV顕微鏡用のSchwarzschild対物ミラーで生じる非点収差を補正するデフォーマブルミラーを提案した。デフォーマブルミラーは、Mo / Si多層膜を成膜した凹面鏡と、3点保持機構を備えたミラーホルダーからなる。振幅4nm rmsの比較的大きな非点収差を補正することができるデフォーマブルミラーの光学的およ
学会発表要旨
M. Toyoda, R. Sunayama, M. Yanagihara
2017/06
Proceedings of the 9th Mechanical Engineering Design of Synchrotron Radiation Equipment and Instrumentation
2017
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