学術論文

基本情報

氏名 豊田光紀
氏名(カナ) トヨダ ミツノリ
氏名(英語) TOYODA Mitsunori

題名

軸外物体を考慮したEUV多層膜ミラーの光学設計(口頭講演)

概要

 

種別

学会発表要旨

共著者名

相澤駿介,豊田光紀

発行又は発表の年月

2020/03

発行所

第67回 応用物理学会 春季学術講演会(上智大学 四谷キャンパス)

巻・号

 

掲載ページ

 

DOI*/ISBN*

 

年度

2019

備考