学術論文

基本情報

氏名 豊田光紀
氏名(カナ) トヨダ ミツノリ
氏名(英語) TOYODA Mitsunori

題名

高倍率多層膜ミラー結像系によるEUVリソグラフィ用マスクの実波長観察

概要

 

種別

学会発表要旨

共著者名

山添健二郎, 豊田光紀, 羽多野忠, 柳原美廣, 時政明史, 原田哲男, 渡邊健夫, 木下博雄

発行又は発表の年月

 

発行所

東北大学多元物質科学研究所研究発表会講演予稿集

巻・号

12th

掲載ページ

143

DOI*/ISBN*

 

年度

2012

備考