学術論文

基本情報

氏名 豊田光紀
氏名(カナ) トヨダ ミツノリ
氏名(英語) TOYODA Mitsunori

題名

Development of Wide Field of View EUV Microscope Using Normal Incident Multilayer Optics with LPP Light Source

概要

LPP光源と直入射型光学系による広視野EUV顕微鏡の開発

種別

学会発表要旨

共著者名

F. Ishida, T. Ejima, M. Toyoda, T. Tsuru, T. Hatano, M. Yanagihara, H. Mizutani

発行又は発表の年月

2010/08

発行所

he 10th international conference on x-ray microscopy (Chicago, USA)

巻・号

 

掲載ページ

 

DOI*/ISBN*

 

年度

2010

備考