学術論文

基本情報

氏名 豊田光紀
氏名(カナ) トヨダ ミツノリ
氏名(英語) TOYODA Mitsunori

題名

点回折干渉計による軟X線用高倍率対物鏡の高精度波面測定

概要

 

種別

学会発表要旨

共著者名

内田健太郎, 豊田光紀, 柳原美廣

発行又は発表の年月

2012/12

発行所

応用物理学会東北支部学術講演会講演予稿集

巻・号

67th

掲載ページ

25-26

DOI*/ISBN*

 

年度

2012

備考