高いスループットを実現した軟X線多層膜ミラー顕微鏡用の精密対物ミラー作製技術，これを搭載した顕微鏡(TXM3)と生体試料の撮像例，また超高精細イメージングを達成するためのミリング波面補正技術について紹介した．さらに、軟X線領域の光学設計，光学素子作製，波面計測，補正技術，アライメント調整を高度化等の各要素技術の現状について概説した.