学術論文

基本情報

氏名 豊田光紀
氏名(カナ) トヨダ ミツノリ
氏名(英語) TOYODA Mitsunori

題名

超高精細バイオイメージング用波面補正軟X線多層膜ミラーの開発

概要

高いスループットを実現した軟X線多層膜ミラー顕微鏡用の精密対物ミラー作製技術,これを搭載した顕微鏡(TXM3)と生体試料の撮像例,また超高精細イメージングを達成するためのミリング波面補正技術について紹介した.さらに、軟X線領域の光学設計,光学素子作製,波面計測,補正技術,アライメント調整を高度化等の各要素技術の現状について概説した.

種別

学術論文

共著者名

津留俊英, 羽多野忠, 原田哲男, 豊田光紀, 江島丈雄, 柳原美廣, 山本正樹

発行又は発表の年月

2010/05

発行所

光学

巻・号

39 (2010)

掲載ページ

219

DOI*/ISBN*

 

年度

2010

備考