学術論文

基本情報

氏名 豊田光紀
氏名(カナ) トヨダ ミツノリ
氏名(英語) TOYODA Mitsunori

題名

Flat-Field Anastigmatic Mirror Objective for High-Magnification Extreme Ultraviolet Microscopy

概要

高分解能な極端紫外(EUV)顕微鏡を実現するため、3つの多層膜ミラーからなる反射対物光学系を提案した。この対物ミラーは、Schwarzschildミラーに、凹面拡大ミラーを付加した2段結像系として構成した。論文では、2段結像系の3次収差を表す解析表現を計算した後、開口数0.25および動作波長13.5nmの条件で、解析的光学設計のケーススタディを行った。さらに、数値計算に基づく光線追跡法を用いて、この新規設計の優れた結像性能を確認した。

種別

学術論文

共著者名

 

発行又は発表の年月

2015/06

発行所

Adv. Opt. Techn.

巻・号

4 (2015)

掲載ページ

339–346

DOI*/ISBN*

 

年度

2015

備考