高分解能な極端紫外（EUV）顕微鏡を実現するため、3つの多層膜ミラーからなる反射対物光学系を提案した。この対物ミラーは、Schwarzschildミラーに、凹面拡大ミラーを付加した2段結像系として構成した。論文では、2段結像系の3次収差を表す解析表現を計算した後、開口数0.25および動作波長13.5nmの条件で、解析的光学設計のケーススタディを行った。さらに、数値計算に基づく光線追跡法を用いて、この新規設計の優れた結像性能を確認した。