学術論文
題名
概要
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種別
共著者名
発行又は発表の年月
発行所
巻・号
掲載ページ
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年度
備考
基本情報
氏名
豊田光紀
氏名(カナ)
トヨダ ミツノリ
氏名(英語)
TOYODA Mitsunori
題名
Design, fabrication, and test of a novel wide field microscope objective for extreme ultraviolet multiscale imaging.
概要
EUVマルチスケール観察を実現する広視野顕微対物鏡の光学設計、実装及び評価に関する研究
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種別
学会発表要旨
共著者名
 
発行又は発表の年月
2013/11
発行所
The 12th Symposium on X-ray Imaging Optics (Osaka, Japan)
巻・号
 
掲載ページ
 
DOI*/ISBN*
 
年度
2013
備考