学術論文

基本情報

氏名 豊田光紀
氏名(カナ) トヨダ ミツノリ
氏名(英語) TOYODA Mitsunori

題名

Design, fabrication, and test of a novel wide field microscope objective for extreme ultraviolet multiscale imaging.

概要

EUVマルチスケール観察を実現する広視野顕微対物鏡の光学設計、実装及び評価に関する研究

種別

学会発表要旨

共著者名

 

発行又は発表の年月

2013/11

発行所

The 12th Symposium on X-ray Imaging Optics (Osaka, Japan)

巻・号

 

掲載ページ

 

DOI*/ISBN*

 

年度

2013

備考