多層膜ミラーを成膜したSchwarzschild対物系を用いた軟X線顕微鏡を構築した。顕微鏡は、多層膜ミラーで生じるBragg反射で分光された特性X線を観察し、元素選択的な2次元像を観察できる。Schwarzschildの対物系は、50倍の倍率と0.25の開口数を持つように設計され、Si L発光を選択するためMo / Si多層膜ミラーが成膜された。光学系は波長13.3nmにBraggピークを持ち、全体のスループットは14％であった。電子線リソグラフィで作製したSiO2の格子パターン(幅5μm)を、2.5k