結像型EUV顕微鏡では、高倍率により像側の開口数が著しく減少し、像面上のフレネル数は1未満に低下する。一方で、開口数が大きい物体面上では、通常、フレネル数は１以上の大きな値をとる。これらの2つのフレネル数を持つ高倍率対物レンズによる結像を理解するために、論文では、点物体の物体・像面の各々のスルーフォーカス像を観察し実験的に結像特性を検証した。さらに、高倍率光学系の特異な結像特性を説明する簡便な解析モデルを提案した。このモデルは、実験により明らかとなった物体・像面側双方で異なるデフォーカス特性を良く説明する