学術論文

基本情報

氏名 豊田光紀
氏名(カナ) トヨダ ミツノリ
氏名(英語) TOYODA Mitsunori

題名

EUV顕微鏡照明光学系用凹面Mo/Si多層膜ミラーの光学設計

概要

 

種別

学会発表要旨

共著者名

相澤駿介、脇俊太郎、角館俊行、豊田光紀

発行又は発表の年月

2019/09

発行所

第80回 応用物理学会 秋季学術講演会(北海道大学 札幌キャンパス)

巻・号

 

掲載ページ

 

DOI*/ISBN*

 

年度

2019

備考