学術論文

基本情報

氏名 豊田光紀
氏名(カナ) トヨダ ミツノリ
氏名(英語) TOYODA Mitsunori

題名

レーザープラズマ光源を用いた透過型X線反射多層膜顕微鏡TXM3の開発 2

概要

 

種別

学会発表要旨

共著者名

江島丈雄, 中村芳雅, 豊田光紀, 原田哲男, 津留俊英, 古舘三七二, 荒井彰, 羽多野忠, 柳原美広, 山本正樹

発行又は発表の年月

2007/09

発行所

応用物理学会学術講演会講演予稿集

巻・号

68th(2)

掲載ページ

712

DOI*/ISBN*

 

年度

2007

備考