Other
Start Date
End Date
ENG
Matter
Summary
ENG
ENG
ENG
ENG
ENG
ENG
ENG
ENG
Basic information
Name
KOBAYASHI Shin-ichi
Start Date
2012-03
End Date
ENG
ENG
Matter
SiH4＋N2ガスを原料とするVHF-PECVD法によるSiNx低温成膜
Summary
ENG
ENG
第59回応用物理学関係連合講演会、 16a-A6-6、 早稲田大学
ENG
小林信一
ENG
ENG
ENG
ENG
2011
ENG
