作品・発表

基本情報

氏名 小林信一
氏名（カナ） コバヤシ シンイチ
氏名（英語） KOBAYASHI Shin-ichi

年月日（開始）

2012/03

年月日（終了）

 

種別

学会発表（国内学会）

題名(事項)

SiH4＋N2ガスを原料とするVHF-PECVD法によるSiNx低温成膜

概要

 

発表場所（学会名、会場名等）

第59回応用物理学関係連合講演会、 16a-A6-6、 早稲田大学

共同制作・発表者（名義）

小林信一

受賞・表彰名

 

開催地（海外の場合は国名）

 

主催者

 

年度

2011

備考