作品・発表

基本情報

氏名 安田洋司
氏名(カナ) ヤスダ ヨウジ
氏名(英語) YASUDA Yoji

年月日(開始)

 

年月日(終了)

 

種別

学会発表(国内学会)

題名(事項)

水素ガスセンサ向け酸化タングステン膜スパッタ堆積中の酸素負イオンによる衝撃低減の検討

概要

 

発表場所(学会名、会場名等)

システム設計研究会 2021年度 第1回公開研究会

共同制作・発表者(名義)

 

受賞・表彰名

 

開催地(海外の場合は国名)

 

主催者

 

年度

2021

備考