学術論文
題名
概要
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種別
共著者名
発行又は発表の年月
発行所
巻・号
掲載ページ
DOI*/ISBN*
年度
備考
基本情報
氏名
安田洋司
氏名(カナ)
ヤスダ ヨウジ
氏名(英語)
YASUDA Yoji
題名
New oxygen radical source using selective sputtering of oxygen atoms for high rate deposition of TiO
2
films
概要
 
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種別
学術論文
共著者名
Yoji Yasuda, Hao Lei, Yoichi Hoshi
発行又は発表の年月
 
発行所
Journal of Vacuum Science & Technology A
巻・号
A30, 6
掲載ページ
061503
DOI*/ISBN*
 
年度
2012
備考