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2022-03-23
2022-03-23
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深振動マグネトロンスパッタリングの発光分光計測とイオン閉じ込め効果の検討
第69回応用物理学会春季学術講演会（青山学院大学）
横山 英佐、小野 洋平、坂本 大樹、高山 昇大、西宮 信夫、實方 真臣、戸名 正英、山本 宏晃、塚本 恵三、冨宅 喜代一、大下 慶次郎、美齊津 文典
相模原市（オンライン）
応用物理学会
2021
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