作品・発表

基本情報

氏名 實方真臣
氏名(カナ) サネカタ マサオミ
氏名(英語) SANEKATA Masaomi

年月日(開始)

2022/03/23

年月日(終了)

2022/03/23

種別

学会発表(国内学会)

題名(事項)

深振動マグネトロンスパッタリングの発光分光計測とイオン閉じ込め効果の検討

概要

 

発表場所(学会名、会場名等)

第69回応用物理学会春季学術講演会(青山学院大学)

共同制作・発表者(名義)

横山 英佐、小野 洋平、坂本 大樹、高山 昇大、西宮 信夫、實方 真臣、戸名 正英、山本 宏晃、塚本 恵三、冨宅 喜代一、大下 慶次郎、美齊津 文典

受賞・表彰名

 

開催地(海外の場合は国名)

相模原市(オンライン)

主催者

応用物理学会

年度

2021

備考