Academic Theses
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UCHIDA Takayuki
Title
対向ターゲット式スパッタ法とマグネトロンスパッタ法による有機EL膜上へのITO成膜時に有機膜が受けるダメージの比較
Summary
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雷浩、星陽一、王美、澤田豊、内田孝幸
Date of Issue
2009-09
Magazine(name)
2009年度秋季第70回 応用物理学会学術講演会 有機EL 10a-ZC-3 (富山大学）
Volume
0
Page
p.1212
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2009
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