学術論文
題名
概要
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種別
共著者名
発行又は発表の年月
発行所
巻・号
掲載ページ
DOI＊／ＩＳＢＮ＊
年度
備考
基本情報
氏名
内田孝幸
氏名（カナ）
ウチダ タカユキ
氏名（英語）
UCHIDA Takayuki
題名
対向ターゲット式スパッタ法とマグネトロンスパッタ法による有機EL膜上へのITO成膜時に有機膜が受けるダメージの比較
概要
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種別
学会発表要旨
共著者名
雷浩、星陽一、王美、澤田豊、内田孝幸
発行又は発表の年月
2009/09
発行所
2009年度秋季第70回 応用物理学会学術講演会 有機EL 10a-ZC-3 (富山大学）
巻・号
0
掲載ページ
p.1212
DOI＊／ＩＳＢＮ＊
年度
2009
備考
