学術論文

基本情報

氏名 内田孝幸
氏名(カナ) ウチダ タカユキ
氏名(英語) UCHIDA Takayuki

題名

対向ターゲット式スパッタ法とマグネトロンスパッタ法による有機EL膜上へのITO成膜時に有機膜が受けるダメージの比較

概要

 

種別

学会発表要旨

共著者名

雷浩、星陽一、王美、澤田豊、内田孝幸

発行又は発表の年月

2009/09

発行所

2009年度秋季第70回 応用物理学会学術講演会 有機EL 10a-ZC-3 (富山大学)

巻・号

0

掲載ページ

p.1212

DOI*/ISBN*

 

年度

2009

備考