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Basic information

Name YUKIYA Tokio

Start Date

2003-03

End Date

 

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Matter

AFM局所酸化とNaOH溶液によるエッチングを用いたナノメータトレンチの製作

Summary

 

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第50回応用物理学会学術関連連合講演会,28p-N-13,

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會澤功嗣、行谷時男、藤橋忠悟

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2002

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