作品・発表

基本情報

氏名 行谷時男
氏名（カナ） ユキヤ トキオ
氏名（英語） YUKIYA Tokio

年月日（開始）

2003/03

年月日（終了）

 

種別

学会発表（国内学会）

題名(事項)

AFM局所酸化とNaOH溶液によるエッチングを用いたナノメータトレンチの製作

概要

 

発表場所（学会名、会場名等）

第50回応用物理学会学術関連連合講演会，28p-N-13，

共同制作・発表者（名義）

會澤功嗣、行谷時男、藤橋忠悟

受賞・表彰名

 

開催地（海外の場合は国名）

 

主催者

 

年度

2002

備考