作品・発表

基本情報

氏名 行谷時男
氏名(カナ) ユキヤ トキオ
氏名(英語) YUKIYA Tokio

年月日(開始)

2003/03

年月日(終了)

 

種別

学会発表(国内学会)

題名(事項)

AFM局所酸化とNaOH溶液によるエッチングを用いたナノメータトレンチの製作

概要

 

発表場所(学会名、会場名等)

第50回応用物理学会学術関連連合講演会,28p-N-13,

共同制作・発表者(名義)

會澤功嗣、行谷時男、藤橋忠悟

受賞・表彰名

 

開催地(海外の場合は国名)

 

主催者

 

年度

2002

備考