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Basic information
Name
KOBAYASHI Shin-ichi
Start Date
2013-09
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Matter
VHF-PECVDで形成したSiNx膜中の化学結合経時変化
Summary
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第74回応用物理学会学術講演会、 17p-P2-21、 同志社大学
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小林信一
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2013
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