Other
Start Date
End Date
ENG
Matter
Summary
ENG
ENG
ENG
ENG
ENG
ENG
ENG
ENG
Basic information
Name
KOBAYASHI Shin-ichi
Start Date
2013-03
End Date
ENG
ENG
Matter
SiH4＋N2ガスを用いたVHF-PECVD法によるSiNxの膜構造
Summary
ENG
ENG
第60回応用物理学関係連合講演会、 27p-A7-10、 神奈川工科大学
ENG
小林信一
ENG
ENG
ENG
ENG
2012
ENG
