Other
Start Date
End Date
ENG
Matter
Summary
ENG
ENG
ENG
ENG
ENG
ENG
ENG
ENG
Basic information
Name
KOBAYASHI Shin-ichi
Start Date
2012-09
End Date
ENG
ENG
Matter
SiH4＋N2ガスを用いたVHF-PECVD法によるSiNx膜の構造変化
Summary
ENG
ENG
第73回応用物理学会学術講演会、 12a-E1-6、 愛媛大学
ENG
小林信一
ENG
ENG
ENG
ENG
2012
ENG
