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Development of a component analysis method for modulated pulsed power magnetron sputtering by use of a reflectron time-of-flight mass spectrometer

東京（応用物理学会）

中込雄基，平山睦大，渡部達也，兼行亮輔，西宮信夫，實方真臣,山本宏晃，戸名正英，塚本恵三，大下慶次郎，美齊津文典

東京都千代田区

応用物理学会

2019