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Pulse and power controls in modulated pulsed power magnetron sputtering and the optical emission spectroscopy

北海道大学（応用物理学会）

中込雄基，渡部達也，平山睦大，兼行亮輔，西宮信夫，實方真臣,山本宏晃，戸名正英，塚本恵三，大下慶次郎，美齊津文典

応用物理学会

2019