作品・発表
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学会発表（国内学会）
変調パルス電力マグネトロンスパッタリングのパルス／パワー制御とプラズマ発光分光
マクロ／マイクロパルスの複合的な制 御およびパワー制御に対するMPPMSのスパッタリング特性を知ることを目的にプラズマ発光の分光計測を行い、そのプラズマ放電特性等について発表を行った
北海道大学（応用物理学会）
中込雄基，渡部達也，平山睦大，兼行亮輔，西宮信夫，實方真臣,山本宏晃，戸名正英，塚本恵三，大下慶次郎，美齊津文典
応用物理学会
2019
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