Other
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2019-03-09
2019-03-12
ENG
Micro- and macro-pulse designs in high power pulsed magnetron sputtering and the optical emission spectroscopy for generated plasma
応用物理学会
中込 雄基，平井 芳拓，西田 寛，西宮 信夫，實方 真臣, 山本 宏晃，戸名 正英，塚本 恵三，大下 慶次郎，美齊津 文典
2018
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