作品・発表

基本情報

氏名 西宮信夫
氏名(カナ) ニシミヤ ノブオ
氏名(英語) NISHIMIYA Nobuo

年月日(開始)

2019/03/09

年月日(終了)

2019/03/12

種別

学会発表(国内学会)

題名(事項)

高出力パルスマグネトロンスパッタのマイクロ/マクロパルス設計とプラズマ発光分光計測

概要

 

発表場所(学会名、会場名等)

応用物理学会

共同制作・発表者(名義)

中込 雄基,平井 芳拓,西田 寛,西宮 信夫,實方 真臣, 山本 宏晃,戸名 正英,塚本 恵三,大下 慶次郎,美齊津 文典

受賞・表彰名

 

開催地(海外の場合は国名)

 

主催者

 

年度

2018

備考