Other
|
|
2019-03-09
2019-03-12
ENG
Delayed discharge and optical emission characteristics in high power pulsed magnetron sputtering with Ar flow control
応用物理学会
西田 寛，平井 芳拓，中込 雄基，西宮 信夫，實方 真臣，山本 宏晃，戸名 正英，塚本 恵三，大下 慶次郎，美齊津 文典
2018
|
