作品・発表
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2019/03/09
2019/03/12
学会発表（国内学会）
Ar流量制御による高出力パルスマグネトロンスパッタの遅延放電およびプラズマ発光特性
応用物理学会
西田 寛，平井 芳拓，中込 雄基，西宮 信夫，實方 真臣，山本 宏晃，戸名 正英，塚本 恵三，大下 慶次郎，美齊津 文典
2018
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2019/03/09
2019/03/12
学会発表（国内学会）
Ar流量制御による高出力パルスマグネトロンスパッタの遅延放電およびプラズマ発光特性
応用物理学会
西田 寛，平井 芳拓，中込 雄基，西宮 信夫，實方 真臣，山本 宏晃，戸名 正英，塚本 恵三，大下 慶次郎，美齊津 文典
2018
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