Other
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2018-09-18
2018-09-20
ENG
Macro-pulse design and optical emission spectroscopy for plasma generated by high-power pulsed magnetron sputtering using modulated pulsed power system
応用物理学会
西田 寛，平井 芳拓，中込 雄基，西宮 信夫，實方 真臣，山本 宏晃，戸名 正英，塚本 恵三，大下 慶次郎，美齊津 文典
2018
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