作品・発表
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2018/09/18
2018/09/20
学会発表（国内学会）
変調パルス出力方式による高出力パルスマグネトロンスパッタのパルス設計とプラズマ分光計測
応用物理学会
西田 寛，平井 芳拓，中込 雄基，西宮 信夫，實方 真臣，山本 宏晃，戸名 正英，塚本 恵三，大下 慶次郎，美齊津 文典
2018
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2018/09/18
2018/09/20
学会発表（国内学会）
変調パルス出力方式による高出力パルスマグネトロンスパッタのパルス設計とプラズマ分光計測
応用物理学会
西田 寛，平井 芳拓，中込 雄基，西宮 信夫，實方 真臣，山本 宏晃，戸名 正英，塚本 恵三，大下 慶次郎，美齊津 文典
2018
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