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Basic information
Name
SATOH Toshifumi
Start Date
2003-03
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Matter
イオンビームスパッタリング法により作製したCNx薄膜の熱処理効果
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第50回応用物理学関係連合講演会,27p-P4-11,
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佐藤利文、丹呉浩侑、左合玄紀、加藤弘晃、市川 洋
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2002
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