作品・発表

基本情報

氏名 佐藤利文
氏名(カナ) サトウ トシフミ
氏名(英語) SATOH Toshifumi

年月日(開始)

2003/03

年月日(終了)

 

種別

学会発表(国内学会)

題名(事項)

イオンビームスパッタリング法により作製したCNx薄膜の熱処理効果

概要

 

発表場所(学会名、会場名等)

第50回応用物理学関係連合講演会,27p-P4-11,

共同制作・発表者(名義)

佐藤利文、丹呉浩侑、左合玄紀、加藤弘晃、市川 洋

受賞・表彰名

 

開催地(海外の場合は国名)

 

主催者

 

年度

2002

備考