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Basic information
Name
SATOH Toshifumi
Start Date
2003-09
End Date
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Matter
RFマグネトロンスパッタ法により作製したCNx薄膜の基板バイアス効果
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第64回応用物理学会学術講演会，2a-Y-7，
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左合玄紀、豊巻俊明、佐藤利文、丹呉浩侑、市川洋
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2003
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